从原理上分析，我们比较容易理解工具显微镜的原理，而影像仪原理更为复杂。同样是在光学成像的基础上测量对象，而影像仪多了一层影像处理技术，这款技术在运用现在高技术的图片集点运算法则，将各种几何元素的位置关系表达得更为精准清晰。而工具显微镜的这种精准度和清晰度更依懒于人工的操作和偶然的外界条件，误差也是可控或者不可控的。

    这两种光学仪器在结构上也不相同，光学影像测量仪通常由基座和几大检测系统连同PC电脑组装成，工具显微镜就显得稍微简单些。操作者只需要熟练的技巧，就可通过视觉来读取被测工件尺寸大小，而光学影像测量仪除此之外，更要懂得运用操作软件，有些几何检测位置关系要去软件中索取或者新建，这相对而言，是有一定的专业性。

    光学影像测量仪的控制系统除了实现对外围设备的控制以外，还实时监控影像测量仪的状态，以保障系统的可靠性和操作人员的安全。对于一般的控制功能，各个生产商基本类似,但在系统的集成性，可靠性和控制精度上各厂商又存在的差异就比较明显。