在测量精度方面：工具显微镜精度比影像仪高。正常工具显微镜的精度是1+L/100um，而影像测量仪一般是3+L/200um。
在测量行程方面：工具显微镜由于光学构造的关系行程较小。据我了解，目前最大的也都是在300*200mm左右，而影像仪目前1米多行程的都可以做到。
在功能方面: 工具显微镜功能较简单，操作也比较麻烦，如报表的处理，CAD图形的转换等等。而影像仪使用相对比较人性化，操作方便直观。
在效率方面: 工具显微镜不能实现全自动测量，操作人员眼睛经常需要对准显微镜目镜进行分析测量，眼睛容易产生疲劳。而影像测量仪可以实现全自动批量检测，直接连接电脑，结合软件进行测量，大大减轻操作者眼睛的压力，大大提高了检测的效率。